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Verdampfungsprozess in der AMOLED-Fertigung
Mar 05, 2018

Der Grund, warum OLED ausgezeichnete Farbe und Qualität hat, ist seine Selbstleuchtkraft. Die Eigenemission des Anzeigebildschirms bedeutet, dass sowohl Licht als auch Farbe von den Pixeln selbst emittiert werden. Dieses Konzept steht im Gegensatz zu dem Typ, der wie LCD verwendet wird, der Licht von einer externen Lichtquelle (Bei Guangyuan) empfängt und die Farbe des Lichts durch einen Filter steuert.


In einer Anzeige wird die Art, wie die Pixel gebildet werden, Farbmuster genannt. Die Subpixel basierend auf den drei Grundfarben Rot, Grün und Blau (üblicherweise drei Subpixel bilden ein Pixel) müssen ohne Fehler gemustert werden, so dass der Bildschirm des Displays den Inhalt genau und genau darstellen kann. Wie machst du ein selbstleuchtendes OLED - Pixel?


Es gibt verschiedene Methoden in der Industrie, und die am häufigsten verwendete Methode der Massenproduktion ist die Verdampfung. Gegenwärtig ist die einzige Möglichkeit, eine OLED-Mikroelement-Farbstruktur mit hoher Präzision und hoher Kapazität zu erhalten, eine Verdunstung.


Die Verdampfung ist einer der Kernprozesse der OLED, und sie ist auch die zweite Stufe der fünf Hauptschritte des OLED-Herstellungsprozesses.


[LTPS] - [bedampfen] - [paket] - [einheit] - [modul]


Wenn LTPS (Niedertemperatur-Polysilizium) verwendet wird, um die verschiedenen Pixel der Lumineszenz zu steuern, soll der Verdampfungsprozess das selbstlumineszierende Pixel selbst erzeugen, das Licht und Farbe erzeugen kann.

Lass uns zurückblicken.


OLED ist die organische lichtemittierende Schicht, die rot (R), grün (G) und blau (B) auf dem Glassubstrat emittiert, und die strukturelle Zusammensetzung zum Schutz der organischen lichtemittierenden Schicht. Bei sorgfältiger Beobachtung der organischen Lumineszenzschicht ist zu sehen, dass die Hilfsschichten wie HIL und ETL miteinander kombiniert sind. Dies hilft, die Effizienz der Lumineszenz zu verbessern, wodurch die Lichtausbeute höher ist als das Licht, das nur durch RGB emittiert wird.


Die gebräuchlichste Art, eine organische Schicht zu bilden, ist das "Bedampfen". Die Verdampfung ist vergleichbar mit der Verdampfung.



Wenn das Wasser in dem Topf gekocht wird, wird der Dampf in den Tau auf dem Deckel des Topfes gebracht. Der Unterschied besteht darin, dass die Dampfplattierung verwendet wird, um Wasser durch organische Materialien zu ersetzen, und dass sie in einem Vakuumzustand anstatt unter normalem Atmosphärendruck erhitzt wird.


Die Verdampfung muss im Vakuum erfolgen, dh in einer sogenannten Vakuumkammer. Das große LTPS-Backboard wird in der Vakuumkammer zur Farbstrukturierung hergestellt. (Nach dem Erstellen des Farbmusters auf diesem Substrat wird die Zelle zugeschnitten und entsprechend der Größe des Smartphones verwendet.)


Sobald das LTPS fertiggestellt und in der Vakuumkammer platziert ist, wird die präzise Metallmaske (FMM) unter dem LTPS-Substrat platziert. Eine Maske ist eine Vorrichtung mit einem kleinen Loch auf einer dünnen Platte. Wenn das organische Material gedämpft wird, kann es nur in einer bestimmten Position abgelagert werden. Wenn die Maske nicht verwendet wird, werden Grün und Blau auf den roten (R) Pixeln abgelagert, so dass die reine Farbe nicht erhalten wird. Daher wird während des Verdampfungsprozesses zu unterschiedlichen Zeitpunkten eine unterschiedliche Position von RGB und eine entsprechende Form verwendet.


Wenn die Maske bereit ist, wird die Dampfquelle (wie organische Materialien wie organische Materialien) darunter platziert und auf die geeignete Temperatur erwärmt. Wenn das Erhitzen beginnt, passieren die kleinen organischen Moleküle in der Moleküleinheit die Maske und sammeln sich an der gewünschten Position an.


Wir sprachen über das Konzept des Dampfplattierens, eines der Kernprozesse von OLED. Schauen wir uns nun den Prozess der Farbstrukturierung durch Verdampfung der Beschichtung genauer an.


Im Folgenden werden wir weiter über einen der wichtigsten Herstellungsprozesse von OLED, "dampfplattieren", sprechen. Im letzten Teil des "ersten Teils der gedämpften Plattierung" diskutieren wir das Konzept und Prinzip der Verdampfung und diskutieren den spezifischen Prozess der Verdampfung.


Der OLED-Verdampfungsprozess bildet zuerst die organische Schicht über dem LTPS (Niedertemperatur-Polysilizium). Denken Sie daran, dass LTPS ein Schalter ist, der die Pixel auf dem Display steuert. In OLED bestehen die lumineszierenden Pixel aus organischen Materialien, die durch elektrische Signale leuchten und färben. Das Steuerschaltsignal ist für den LTPS verantwortlich, daher sollte der LTPS die Verbindung mit der OLED-Schicht bilden, und das Formationsverfahren wird im "Verdampfungsprozess" vervollständigt.


Wie in der obigen Abbildung gezeigt, existiert die EML (Emitterschicht) auf der LTPS-Anode. Im Bild zeichnen wir nur ein rotes Subpixel als Beispiel. Bei sorgfältiger Beobachtung der Struktur ist ersichtlich, dass die Hilfsschichten über und unter der EML liegen, um die Emissionseffizienz von EML zu verbessern.


Das Elektron wird von der Kathode in die EIL (Elektroneninjektionsschicht) injiziert und erreicht EML durch die ETL (Elektronentransportschicht).


In ähnlicher Weise werden die Löcher von der Anode in die HIL (Lochinjektionsschicht) auf der gegenüberliegenden Seite injiziert und erreichen EML durch die HTL (Lochtransportschicht). Wenn sich die Elektronen und Löcher in der EML treffen, kombinieren sie Licht und senden es aus.


Die gleiche Struktur ist nicht nur rot, sondern wenn grüne und blaue organische Lichtschichten erzeugt werden können, werden sie zu einem einzigen Pixel kombiniert.


Also, aus welcher Reihenfolge die organische Lichtschicht besteht, sehen wir den Prozess durch die folgenden Animationen.



Der grundlegende OLED-Verdampfungsprozess beginnt mit der Entfernung von Schmutz und Verunreinigungen auf dem Substrat des LTPS (mit der Anode). Nach dem Reinigen und Trocknen des Substrats wird das restliche Anodenmaterial durch Plasma entfernt, und die Lochinjektionseigenschaften von der Anode zu dem HIL werden verbessert.



Dann wird die HIL (Hohlrauminjektionsschicht) vollständig verdampft, und dann wird die HTL (Lochübertragungsschicht) dampfplattiert, um eine Hilfsschicht zu bilden.


Die nächste ist die tatsächliche lumineszierende EML-Schicht, die die Verwendung einer Maske erfordert, um selektiv die gewünschte Position aufzubringen.


Anschließend werden ETL (deponierte Elektronentransportschicht) und EIL (elektronenimplantierte Schicht) verdampft, um eine Hilfsschicht für den Elektronentransport zu bilden. Schließlich wird die Kathode verdampft, um den gesamten Abscheidungsprozess der organischen Emissionsschicht zu vervollständigen.