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ODF-VAS
Nov 15, 2017

Vakuum-Ausrichtsystem

Ziel ist es, TFT und CF zu Boxen im Vakuum mit TFT und CF zu machen.

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Die grundlegende Struktur ist wie folgt

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Vacuum Align System, besteht aus den folgenden 3 Systemen

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Vacuum Align System Arbeitsstunden, Hauptsächlich in der folgenden Reihenfolge

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1.1 Vakuumsystem

Das Vakuumsystem von AS besteht hauptsächlich aus trockener Vakuumpumpe (trockene Pumpe) und Turbomolekularpumpe;

DP nimmt normalerweise nur Vakuum bis etwa 10 Pa;

TMP kann das Vakuum auf ungefähr 1 Pa bringen;


Das Folgende ist eine schematische Darstellung der Vakuumrohrleitung einer VAS-Maschine

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1.2 Glasadsorption

Vakuum - Ausrichtsystem, basierend auf den Glas - Box Präzisionsanforderungen, Glas kann nicht verformt werden, aber auch um die Interferenz des Fallens, die Adsorption von Glas auf der Maschine durch die älteste Vakuum - Adsorption, Entwicklung zu elektrostatischer Adsorption zu reduzieren, und erscheinen dann molekulare Adsorption!

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Basierend auf elektrostatischer Adsorption und molekularer Kraftadsorption führen wir den folgenden Vergleich durch

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1.3 Kontrapunktsystem

Positionierungssystem, ist einfach die Kamera Akquisition Mark Koordinaten, durch das Bildverarbeitungssystem, Substrat Positionsdifferenz Berechnung, und dann das Steuerungssystem die Substrat-Position, um eine präzise Ausrichtung zu erreichen;

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Der Ausrichtungsprozess ist wie folgt

1. nach oben und unten greifen Mark Koordinaten;

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2. Berechnen Sie das Theta, wie in der folgenden Abbildung gezeigt

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2. dann bewegt sich das untere Substrat, und ein neuer Mittelpunkt Bm wird berechnet

3. Schließlich bewegt sich Bm zur Um-Position;


Ein paar: Farbumfang eines Displays

Der nächste streifen: LED-Hintergrundbeleuchtung