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Mechanismen
Jun 20, 2018

• Wenn ein Ni-Film auf Si abgeschieden und geglüht wird,

Die Interreaktion folgt der Sequenz: Ni2Si
NiSiNiSi2.
Die Siliziumbildung erfolgt sequentiell,
nicht gleichzeitig, was bedeutet, dass die
Metall / Silizium führt zum aufeinanderfolgenden
Bildung der Silizide, aus dem Blick
metallreich, um an das siliziumreiche Silizium zu gelangen.

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